掃碼電子顯微鏡的結構組成分享

　　掃碼電子顯微鏡與掃描隧道顯微的差別在于并非利用電子隧道效應，而是利用原子之間的范德華力作用來呈現樣品的表面特性。假設兩個原子中，一個是在懸臂的探針，另一個是在樣本的表面，它們之間的作用力會隨距離的改變而變化，當原子與原子很接近時，彼此電子云斥力的作用大于原子核與電子云之間的吸引力作用，所以整個合力表現為斥力的作用，反之若兩原子分開有一定距離時，其電子云斥力的作用小于彼此原子核與電子云之間的吸引力作用，整個合力表現為引力的作用。

 

　　下面要為您介紹的是掃碼電子顯微鏡的結構組成：

 

　　1、力檢測部分：

 

　　在系統中，所要檢測的力是原子與原子之間的范德華力。所以在本系統中是使用微小懸臂來檢測原子之間力的變化量。這微小懸臂有一定的規格，例如：長度、寬度、彈性系數以及針尖的形狀，而這些規格的選擇是依照樣品的特性，以及操作模式的不同，而選擇不同類型的探針。

 

　　2、位置檢測部分：

 

　　當針尖與樣品之間有了交互作用之后，會使得懸臂擺動，所以當激光照射在末端時，其反射光的位置也會因為擺動而有所改變，這就造成偏移量的產生。在整個系統中是依靠激光光斑位置檢測器將偏移量記錄下并轉換成電的信號，以供SPM控制器作信號處理。

 

　　3、反饋系統：

 

　　將信號經由激光檢測器取入之后，在反饋系統中會將此信號當作反饋信號，作為內部的調整信號，并驅使通常由壓電陶瓷管制作的掃描器做適當的移動，以保持樣品與針尖保持合適的作用力。